·准备工作
1）开启设备总电源，稳压器，确认三项供电电压正常：—V；
2）开启电容补偿器；
3）确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；
4）根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动前应确认冷水机入口水压1.5-3kg，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动；
5）确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工作正常，紧急冷却系统准备就绪；
6）确认工艺气体气压不低于20个大气压
7）装基膜
A、领膜：镀膜工按照生产任务单要求，从净化室中领导基膜时，应检查该膜是否合格，有无花纹、斑点、划伤、污迹、收卷是否整齐等直接观测到的问题，如有应立即向生产主管报告，以决定是否采用。
B、装轴：操作时必须带手套，将合格的基膜放在专用膜托架上，取一对尺寸相同的轴安装好，安装时请注意膜的正反面，确认一切准备就绪，即可吊装，吊装时必须轻拿轻放，严禁碰撞，必须保持基膜水平，以免膜打滑引起螺纹状；
C、装膜：确认冷辊无冷凝水后，即可装膜，装膜时不要对着膜讲话，以保持膜面干净。注意不要碰透过率分析仪的探头，装膜时应保证膜在冷辊的中心；
D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力；
E、试卷
8）按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配置正确，靶材量充足，确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上，关闭真空室。
·抽真空
1）扩散泵预加热（约需40分钟）：启动维持泵，确认运转正常后，打开维持阀（灯亮），逐一打开扩散泵；
2）低抽：确认真空室门已关闭启动计算机，进入镀膜系统监控程序，充气阀关闭，启动机械泵（1、2），确认机械泵正常运行后，开预抽阀，五分钟后打开复合真空计，打开罗茨泵开关，。（当真空达到Pa时，罗茨泵允许信号灯（红灯）亮，再延迟25秒后，罗茨泵自动启动）；
3）高抽：当罗茨泵启动五分钟后，打开热偶真空计，当真空度达到5Pa时，开高阀允许信号灯（红灯）亮，此时确认扩散泵预热已完成（加热40分钟或油窗油面达到规定位置情况下），关闭预抽阀，依次打开各前级阀，关维持阀、关维持泵。依次打开各路高阀，确认到位开关灯亮，开始高抽。真空度进入10-2Pa后，打开电离真空计测量高真空，直到工艺规定的背景真空，真空进入6×10-3Pa后，打开靶电源总开关及透过率分析仪预热，与计算机系统完成通讯连接；
·镀膜
1）确认已达背景真空，关闭电离真空计，打开冷辊、隔离槽、靶电源、冷却水，确认工作正常；
2）打开所需各路供气电磁阀，抽取残留杂质气体，确认到达背景真空，按工艺要求设置各路气体流量，打开总气阀、减压阀、气体控制器开关，用中真空计观察工艺气体总压，稳定后进行透过率分析仪初始化整定（此时需关闭真空室照明灯）；
3）镀膜：启动传动系统，确认收放卷工作正常，按靶1—靶5依次设置各靶镀膜功率，关照明灯，观察记录透过率变化情况，开照明灯，观察镀膜后剩余反射光、外观、颜色、质量是否符合工艺要求，在稳定工作的情况下，做好工艺记录，不断巡查设备运转状况，合理处置各种随机问题，镀膜结束时，依次关闭传动、靶电源，工艺气体、冷却水、（扩散泵水除外），依次关闭各路高阀，启动维持泵，开维持阀，依次关各路前级阀、罗茨泵、机械泵、各真空测量仪，对冷辊升温，如不继续镀膜，关闭扩散泵，保持冷却水，降温3小时后，关维持阀和维持泵；
·恢复大气压力
确认冷辊高于露点温度后，打开充气阀，充气完成后，打开真空室门
·检验
在收卷一侧压紧辊处用记号笔标记镀膜终止位置横线，对镀膜质量进行必要的观测检验记录
·卸膜
将镀膜剩余膜收卷完毕，用吊车小心将成品膜吊装到专用托架上，送交净化室；
·分卷、分切、入库保存；
·包装、出库、运输；
·特别提示
当系统发生故障或供电系统问题引起突然停电时，应立即启动扩散泵紧急冷却系统，方法是：关闭扩散泵主循环阀，打开自来水总开关，对炉盘强制冷却，冷却后应在下一次使用前用气管将急冷水吹干。